国产电子束光刻机“羲之”面世：0.6纳米精度，助力量子芯片研发
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国产电子束光刻机“羲之”面世：0.6纳米精度，助力量子芯片研发
IT之家 8 月 14 日消息，据杭州日报报道，近日，位于杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地传来重大喜讯：全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度与国际主流设备相当，标志着我国量子芯片…
IT之家 8 月 14 日消息，据杭州日报报道，近日，位于杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地传来重大喜讯：全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度与国际主流设备相当，标志着我国量子芯片…
