中用科技:国产AMC监测设备领军者,市场份额持续攀升
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中用科技:国产AMC监测设备领军者,市场份额持续攀升
酸性气体、碱性气体、挥发性有机物(VOCs)等空气分子污染物(Airborne Molecular Contaminants, AMC)对生产设备与晶圆良率的潜在威胁日益凸显,使其监测与管控成为保障高端芯片制…
酸性气体、碱性气体、挥发性有机物(VOCs)等空气分子污染物(Airborne Molecular Contaminants, AMC)对生产设备与晶圆良率的潜在威胁日益凸显,使其监测与管控成为保障高端芯片制…